光刻機到底是什麼，對芯片製造有何影響？

芯片製造一般分爲晶圓製造、光刻、石刻、摻雜以及封裝幾個步驟 其中光刻機在整個製造工藝中扮演着最爲核心的部分 因爲它決定了半導體工藝的技術水平 主要由工作臺、激光系統以及物件系統三部分組成 光刻,顧名思義,就是利用光線刻畫電路的過程 紫外線透過應有電路的演磨 對塗有光刻漿的晶圓進行照射 曝光部分便會溶解清除 從而在晶圓表面形成對應的電路結構 工作原理雖不復雜,但對精度的要求非常高 最先進的EVU光刻機,精度已經達到驚人的5nm 並且經由荷蘭的阿斯麥爾一家能造 堪稱人類智慧集大成的產物 全球數百家公司的頂尖技術 8000多個數一數二的獨有零件都有缺一不可的存在 例如卡爾賽斯提供的光學鏡頭 集成了各種反光鏡及光學部件 沒有任何一家能夠複製 目前最高端的光刻機售價已經超過了10億元 就算有錢也不一定能買到