【半導體】這絕對是講的最全最細的半導體工藝全套教程(2026最新)從0到1帶你瞭解芯片半導體工藝!氧化、光刻、刻蝕、離子注入、CVD、PVD、CMP、封裝 P3 - 第2講:硅棒研磨
2026年11月12日
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視頻概述
AI 生成本视频由青藤教育卓华老师讲解,重点介绍了单晶硅棒在拉制完成后的滚磨与开边工艺。通过金棒磨床对硅棒外表面进行研磨,使其表面光滑,并加工出用于后续定位的扁位或微槽,为接下来的切片工序做好准备。
大家好,我是青藤教育卓華老師
在上節課的話,我們是講這個拉硅棒的工藝
那麼這個硅棒拉出來之後的話
其實它對這個硅棒本身
我們是還需要進行一個滾磨跟開邊的
那麼像這種滾磨的話
就需要這種金棒磨牀
那麼金棒磨牀的話
它大概是長這個樣子,對吧
那麼就是把這種
一個剛拉出來的硅棒
把它弄到這個機牀上面去
對它的這個外表面
進行一個研磨,讓它表面光滑一點
那麼我們一起來看一下這個視頻
我們來看一下
這就是一個拉硅棒的
這就是一個硅棒研磨的機牀了
那麼我們的硅棒的話,先放在這個上面
放在這個上面之後的話
再通過兩邊去夾緊夾緊定位
我們
來
看
一下
那麼現在的話
這個硅棒夾持單元進入我們這個加工區
然後散熱單元的話
它就逐步的退出來了,是吧
那麼可以看到這裏的結構
其實它下面的話是有兩個絲桿來控制我們這個夾爪
來夾緊張開的,是吧
這
裏
的
話
應該
是
一個
正反
絲桿
那麼像我們這種單晶硅棒的話
它一般是要加工一個扁位或者一個微槽
那麼它加工這個扁位或者微槽的目的
其實是用來那個後面來進行一個定位的
好,那麼至此的話,我們一根硅棒
我們就把它給研磨加工完畢了,對吧
好,那麼這個硅棒加工完成之後的話
下一步的話,我們就開始切片了
好,那麼本期的內容到這裏就結束了
同學們再見

